ajouter plus d'énergie à une substance gazeuse, comme le chauffage, créera un plasma. Quand ils atteindre l'état de plasma, la fission des molécules gazeuses en une multitude de particules hautement actives. Ces les scissions ne sont pas permanentes, mais une fois que l'énergie utilisée pour former le plasma disparaît, les particules se recombinent pour former les molécules de gaz d'origine. différent de nettoyage humide, le mécanisme du plasma repose sur l '«activation action ”de le matériau dans le “plasma état ”à supprimer la surface de l'objet taches. De le point de vue de diverses méthodes de nettoyage, le nettoyage au plasma est également la méthode de nettoyage par décapage la plus approfondie parmi toutes les méthodes de nettoyage.

Quoi est nettoyant plasma ? le nettoyage au plasma utilise généralement le laser, les micro-ondes, la décharge corona, l'ionisation thermoélectrique, la décharge d'arc et d'autres moyens pour exciter le gaz plasma état.

en utilisation pratique, compte tenu du coût de production et de la stabilité pratique, purifié ADC ( air comprimé), O2 et N2 sont généralement utilisés, tandis que l'argon n'est utilisé que dans certaines occasions spéciales. Ceci est obtenu en utilisant le mouvement des radicaux libres de l'oxygène dans le plasma pour obtenir une surface hydrophile. Quand ceci hydrophile est formé, le groupe sans oxygène du plasma se combine avec le carbone sur la surface du substrat pour produire du CO2, éliminant ainsi la matière organique.

technologie de nettoyage plasma efficace pour le traitement de surfacepeut éliminer les polluants organiques sur les surfaces des métaux, des céramiques, des plastiques et du verre, et peut modifier considérablement l'adhérence et la force de soudage de ces surfaces. Le Le processus d'ionisation peut être facilement contrôlé et répété en toute sécurité. on peut dire qu'un traitement efficace est crucial pour améliorer la fiabilité du produit ou l'efficacité du processus, et la technologie plasma est également la technologie la plus idéale à l'heure actuelle. grâce à l'activation de surface, la technologie plasma peut améliorer les propriétés de la plupart des substances : propreté, hydrophilie, hydro-répulsion, adhérence, marquage, pouvoir lubrifiant, résistance à l'usure

le plasma luminescent à gaz basse pression est principalement utilisé dans nettoyage plasma applications. certains non cohésifs gaz inorganiques (Ar2, N2, H2, O2, etc.) sont excités à haute fréquence et basse pression pour produire diverses particules actives comprenant des ions, des molécules excitées, des radicaux libres, etc. généralement dans le nettoyage au plasma, le gaz activé peut être divisé en deux catégories, l'une est le plasma de gaz d'insertion (comme comme Ar2, N2, etc.). un autre type de plasma est le gaz réactif (tel que O2, H2, etc.). Ces les particules actives réagissent avec le matériau de surface dans le processus suivant : ionisation - molécules de gaz - excitation - molécules excitées - nettoyage - activation de la surface.

à l'heure actuelle, la tendance de la technologie d'assemblage est que SIP, BGA et CSP package faire évoluer les dispositifs à semi-conducteurs vers modularisation, haute intégration et miniaturisation. dans un tel processus d'emballage et d'assemblage, le plus gros problème est la contamination organique du filtre de liaison et du film d'oxydation formé dans le chauffage électrique. en raison de la présence de contaminants sur la surface de collage, la force de liaison de ces composants diminuent et la résistance d'enrobage de la résine diminue après l'encapsulation, qui affecte directement le niveau d'assemblage et le développement de ces composants. afin d'améliorer et d'améliorer ces assemblage de ces composants, nous essayons par tous les moyens de traiter

Le principe de la production de plasma est le suivant :

comme on peut le voir de la figure ci-dessus, un ensemble d'électrodes est appliqué avec une tension radiofréquence (la fréquence est d'environ des dizaines de mégahertz), et une haute fréquence un champ électrique alternatif est formé entre les électrodes . sous l'excitation du champ électrique alternatif, le gaz dans la région génère un plasma. Le le plasma actif a le double effet de bombardement physique de surface et de réaction chimique sur l'objet pour rendre le matériau à la surface de l'objet à nettoyer particules et matières gazeuses, qui sont déchargés par aspiration pour atteindre l'objectif du nettoyage.

Le processus de nettoyage de traitement de nettoyage plasmapeut être divisé en deux processus en principe.

processus 1 : élimination de la matière organique

Le la première consiste à utiliser le principe du plasma pour activer les molécules de gaz :

O2 → o + O + 2e- ， O + O2 → O3 ， O3 → o + O2

Alors, o et O3 sont utilisés pour réagir avec matière organique pour atteindre l'objectif d'exclusion de la matière organique.

organiques : + O, O3 → co2 + h2o

processus 2 : activation de surface

Le La première consiste à utiliser le principe du plasma pour activer les molécules de gaz :

O2 → o + O + 2e- ， O + O2 → O3 ， O3 → o + O2

puis, l'activation de surface de o et O3 contenant de l'oxygène des groupes fonctionnels sont utilisés pour améliorer les propriétés d'adhérence et de mouillage des matériaux, et la réaction est la suivante :

R • + O • → RO •

R • + O2 → ROO •