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Plaquette factice 6'' Plaquette
de test 8'' Plaquette d'étalonnage
12'' Plaquette de surveillance de
sonde Plaquette de contrôle de processus standard Plaquette de métrologie Plaquette de référence
Plaquette interposeur Quelles sont les spécifications des plaquettes ?
Les plaquettes sont disponibles dans différentes spécifications et types. Voici quelques spécifications courantes des plaquettes :
1. Diamètre : Le diamètre de la plaquette est l'une des spécifications les plus couramment utilisées. Les diamètres courants incluent :
- 200 mm : également connu sous le nom de tranches de 8 pouces.
- 300 mm : Également connu sous le nom de tranches de 12 pouces.
- 150 mm, 100 mm, 75 mm, 50 mm, etc.
2. Épaisseur : L'épaisseur de la plaquette est généralement contrôlée et ajustée pendant le processus de fabrication. Les plages d'épaisseur courantes incluent :
- 650 μm : courant dans les processus antérieurs.
- 550 μm, 450 μm, 380 μm : à mesure que la technologie progresse et que les processus rétrécissent, l'épaisseur de la plaquette diminue.
- Plaquettes ultra-fines : dans certains processus avancés, l'épaisseur des plaquettes peut être bien inférieure à l'épaisseur traditionnelle, atteignant moins de 100 μm.
3. Matériau du substrat : Les plaquettes peuvent être fabriquées à partir de divers matériaux de substrat. Les matériaux courants comprennent :
- Silicium (Si) : le matériau de substrat de plaquette le plus courant, largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs.
- Carbure de silicium (SiC) : Utilisé dans la fabrication d'appareils électroniques et optoélectroniques de haute puissance.
- Nitrure de Gallium (GaN) : Utilisé dans la fabrication de LED et d'appareils électroniques de haute puissance.
- Saphir (Al2O3) : Utilisé dans la fabrication de dispositifs optoélectroniques.
4. Type de structure : Les tranches peuvent également être classées en fonction de leur structure, notamment :
- Silicium sur isolant (SOI) : tranches avec une certaine épaisseur de couche isolante, couramment utilisées dans la fabrication de circuits intégrés hautes performances.
- Wafers empilés : couches de plaquettes empilées ensemble pour le packaging et l'intégration 3D.
- Wafers composites : Wafers intégrant différents matériaux pour répondre aux exigences spécifiques des applications.
Ce ne sont là que quelques spécifications et types courants de plaquettes. En réalité, il existe de nombreuses autres spécifications et types disponibles pour répondre aux exigences de différents domaines d'application.
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Conception d'expéditeurs à cadre flexible unique pour plaquettes de 4" (100 mm), 5" (125 mm), 6" (150 mm), 8" (200 mm) et 12" (300 mm ) .
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