Le machine de montage de plaquettes Il s'agit d'un équipement essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs. Il permet de laminer avec précision des films bleus/UV sur des plaquettes amincies, assurant ainsi leur maintien et leur protection. Il est utilisé dans des applications telles que la fixation des plaquettes, le support de prédécoupage et le collage temporaire pour l'encapsulation 3D.

Principe de fonctionnement

1. Procédé : Le bras robotisé utilise l'aspiration pour prélever la plaquette et l'insérer par pression au centre du film pré-étiré. Il ne doit y avoir ni bulles ni particules. Dans certains cas, un chauffage à 60-80 °C est nécessaire pour améliorer l'adhérence. La précision requise est un décalage ≤ ± 50 µm et un diamètre de bulle ≤ 1 mm.

2. Composants clés :

Dispositif d'aspiration de matériau : des ventouses en silicone antistatiques sont utilisées pour assurer une aspiration uniforme et éviter les dommages.

Système d'alignement : Positionnement visuel CCD de haute précision (atteignant ±5μm en 2025).

Module de contrôle de température : assure l'uniformité du chauffage à basse température.

Guide d'utilisation :

1. Prétraitement : La plaquette doit être exempte de fragments et de fissures. La hauteur du point d'encre doit être inférieure à 25,4 µm et la profondeur de la tranchée gravée inférieure ou égale à 10 µm.

2. Sélection du matériau du film : On utilise généralement un film bleu avec une adhérence de 80 à 95 µm. Pour les plaquettes ultra-minces, on utilise un film UV à faible contrainte. Stocker les films conformément à la réglementation.

3. Spécifications de fonctionnement : Faites fonctionner la machine à vide pour calibrer le système d'alignement. Après laminage, laissez reposer la plaquette 5 minutes avant de la transférer.

4. Traitement des anomalies : En cas de bulles, frottez-les avec un rouleau anti-poussière. En cas de décalage, nettoyez les ventouses et calibrez le capteur CCD. En cas de décalage continu, vérifiez la lubrification du rail de guidage.

Progrès technologique en 2025

1. Compatibilité multi-tailles : des palettes à changement rapide sont disponibles pour prendre en charge la production en ligne mixte de plaquettes de 6/8/12 pouces, permettant une commutation efficace.

2. Réglage intelligent : les algorithmes d'IA optimisent les paramètres, atteignant un rendement de 99,7 % et réduisant le débogage manuel.

3. Adaptation du film UV : un nouveau module d'irradiation UV est ajouté pour prendre en charge la commutation des matériaux de film photoclivables.

Maintenance et sécurité

Nettoyez régulièrement l'équipement, vérifiez les ventouses et les lentilles CCD, calibrez le module de contrôle de la température et remplacez les pièces vulnérables en temps opportun.

Assurez une mise à la terre fiable, évitez de toucher les pièces mobiles et les zones à haute température pour éviter les chocs électriques, les blessures mécaniques et les brûlures.