Il existe différentes spécifications et types de plaquettes. Voici quelques spécifications et types courants de plaquettes :

1. Diamètre : Le diamètre d'une plaquette est l'une des spécifications les plus couramment utilisées. Les diamètres courants incluent :
- 200 mm : également appelé plaquette de 8 pouces.
- 300 mm : également appelé wafers de 12 pouces.
- 150 mm, 100 mm, 75 mm, 50 mm, etc.

2. Épaisseur : L'épaisseur des plaquettes est généralement contrôlée et ajustée pendant le processus de fabrication. Les plages d'épaisseur courantes incluent :
- 650 μm : couramment utilisé dans les processus antérieurs.
- 550μm, 450μm, 380μm : à mesure que la technologie avance et que les processus rétrécissent, l'épaisseur diminue.
- Plaquettes ultra-fines : dans certains processus avancés, l'épaisseur des plaquettes peut être bien inférieure aux épaisseurs traditionnelles, atteignant moins de 100 μm.

3. Matériaux de substrat : Les plaquettes peuvent être fabriquées à partir de divers matériaux de substrat. Les matériaux courants comprennent :
- Silicium (Si) : le matériau de substrat le plus couramment utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs.
- Carbure de silicium (SiC) : utilisé pour la fabrication d'appareils électroniques de haute puissance et d'appareils optoélectroniques.
- Nitrure de gallium (GaN) : Utilisé pour la fabrication de LED et d'appareils électroniques de haute puissance.
- Saphir (Al2O3) : Utilisé pour la fabrication de dispositifs optoélectroniques.

4. Types de structure : Les plaquettes peuvent avoir différents types de structure. Certaines classifications courantes incluent :
- Silicium sur isolant (SOI) : plaquettes avec une certaine épaisseur de couche isolante, couramment utilisées pour la fabrication de circuits intégrés hautes performances.
- Plaquettes empilées : plaquettes empilées ensemble pour le conditionnement et l'intégration 3D.
- Plaquettes composites : Plaquettes intégrant différents matériaux pour répondre aux exigences d'applications spécifiques.

Ce ne sont là que quelques-unes des spécifications et des types courants de plaquettes. En réalité, il existe de nombreuses autres spécifications et types disponibles pour répondre aux exigences de différents domaines d'application.

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