1- Définition de base et valeur du processus

Le machine à laminer semi-automatique pour plaquettes Il s'agit d'un équipement de collage de précision conçu spécifiquement pour les plaquettes de semi-conducteurs. Il assure principalement le collage, la fixation et la découpe précis des plaquettes et des films de protection, offrant un support stable pour les étapes ultérieures d'amincissement, de découpe et de prélèvement des puces. Sa principale valeur technologique réside dans trois aspects :

Protection de surface : isoler les rayures, la contamination et l’oxydation, protéger la structure du circuit avant/arrière de la plaquette ;

Fixation du processus : fixer fermement la plaquette au cadre métallique pour éviter la dispersion et le déplacement des puces pendant la découpe ;

Prélèvement adaptatif : Prend en charge le collage de films antiadhésifs UV, avec une adhérence réduite après irradiation UV, facilitant le prélèvement des puces sans les endommager.

Comparée à l'application manuelle de film, elle élimine les défauts tels que les bulles, les plis et les défauts d'alignement ; comparée aux machines de collage de film entièrement automatiques, elle est plus compacte, nécessite un investissement moindre, offre une grande flexibilité de commutation et convient à la production de multiples variétés et de petites séries.

2-Modules de composants clés

Banc de travail d'adsorption sous vide : le vide fixe les plaquettes pour garantir l'absence de déplacement pendant le collage, permettant un passage rapide entre plusieurs tailles telles que 4/5/6/8 pouces ;

Système de convoyage de matériaux membranaires : tirage automatique du film, contrôle de la tension, adapté aux consommables couramment utilisés tels que le film bleu, le film UV, le film de pyrolyse, etc. ;

Mécanisme de collage flexible : compression par rouleau antistatique/coussin d’air, pression réglable linéairement, permettant un collage sans bulles et sans rayures ;

Unité de découpe et de réception : découpe automatique du film avec couteau circulaire/à ressort, enroulement automatique du film usagé et du papier isolant, réduisant l'intervention manuelle ;

Système de contrôle et de sécurité : réglage des paramètres par écran tactile, protection par barrière immatérielle, arrêt d’urgence, conforme aux spécifications de sécurité SEMI.

3-Caractéristiques techniques et principaux avantages

Précision stable : l’écart de l’ajustement est ≤± 0,5 mm, sans bulles ni plis, et le rendement est nettement supérieur à celui d’une opération manuelle ;

Adaptation flexible : supporte le silicium, le carbure de silicium, l’arséniure de gallium et d’autres plaquettes, et le masque facial avant/arrière peut être fixé ;

Économique : l’investissement en équipement ne représente qu’un tiers à un cinquième de celui des modèles entièrement automatiques, avec un faible encombrement et un entretien simple ;

Facile à utiliser : démarrage en un clic, préréglage des paramètres, le manuel n'est responsable que du chargement et du déchargement, ce qui réduit le seuil de compétence ;

Compatibilité avec les environnements propres : L'ensemble de la machine est fabriqué à partir de matériaux antistatiques et à faible émission de poussière, adaptés aux environnements de salles blanches de classe 100/classe 1000.

Flux de travail standard à 4 niveaux

Positionnement du chargement : placez manuellement la plaquette sur la table de travail sous vide, adsorbez-la et fixez-la ;

Transport du matériau membranaire : l’équipement déroule automatiquement le film adhésif pour recouvrir la plaquette et le cadre métallique ;

Collage par compression : le rouleau/coussin pneumatique est pressé uniformément pour libérer l’air, assurant une adhérence complète entre le film et la plaquette ;

Découpe précise : découpe automatique du film le long du contour de la plaquette, en conservant les marges appropriées ;

Découpe et enroulement du matériau : le produit fini est retiré manuellement, et l’équipement enroule automatiquement le film usagé et passe au cycle suivant.